三氟化氮 Nitrogen trifluoride
物竞编号 00BE
分子式 F3N
分子量 71
标签 电子级三氟化氮, Nitrogen trifluoride，Electronic grade, 蚀刻气

编号系统

CAS号：7783-54-2

MDL号：暂无

EINECS号：232-007-1

RTECS号：暂无

BRN号：暂无

PubChem号：24862062

物性数据

1.性状：无色、带霉味的气体。[1]

2.熔点（ºC）：-208.5[2]

3.沸点（ºC）：-129[3]

4.相对密度（水=1）：1.89（沸点，液体）[4]

5.相对蒸气密度（空气=1）：2.45[5]

6.临界温度（ºC）：-39.3[6]

7.临界压力（MPa）：4.53[7]

8.溶解性：不溶于水。[8]

毒理学数据

1.急性毒性[9]  LC50：19000mg/m3（大鼠吸入，1h）；5600mg/m3（小鼠吸入，4h）

2.刺激性  暂无资料

3.亚急性与慢性毒性[10]  大鼠于308mg/m3浓度下，每天吸入7h，共4~5个月，见肝、肾有轻至中度病理改变，脾肿大，尿氟增高。

生态学数据

1.生态毒性  暂无资料

2.生物降解性  暂无资料

3.非生物降解性  暂无资料

4.其他有害作用[11]  室温气体，会造成全球气候变暖。

分子结构数据

1、摩尔折射率：6.26

2、摩尔体积（cm3/mol）：52.1

3、等张比容（90.2K）：86.3

4、表面张力（dyne/cm）：7.5

5、极化率（10-24cm3）：2.48

计算化学数据

1.疏水参数计算参考值（XlogP）:1.9

2.氢键供体数量:0

3.氢键受体数量:4

4.可旋转化学键数量:0

5.互变异构体数量:无

6.拓扑分子极性表面积3.2

7.重原子数量:4

8.表面电荷:0

9.复杂度:8

10.同位素原子数量:0

11.确定原子立构中心数量:0

12.不确定原子立构中心数量:0

13.确定化学键立构中心数量:0

14.不确定化学键立构中心数量:0

15.共价键单元数量:1

性质与稳定性

1.高纯NF3几乎没有气味，但商业用NF3由于有痕量活性氟，因而具有刺激性气味。临界温度气体。NF3是一种热力学稳定的氧化剂，大约在350℃时，它的反应活性相当于氧，在高温下，NF3能与许多元素反应生成N2F4和相应的氟化物。三氟化氮是一种毒物，其主要危害是由于呼吸道吸入而中毒。

2.稳定性[12]  稳定

3.禁配物[13]  还原剂、易燃或可燃物

4.避免接触的条件[14]  受热

5.聚合危害[15]  不聚合

贮存方法

1.在70℃以下NF3气体对普通金属是不腐蚀的，因此钢、铜、镍、铝和不锈钢在70℃以下均可用作包装材料。用钢瓶和铝合金瓶充装，对气瓶每两年要检验一次。按有毒高压液化气体规定运输，国外规定可以用汽车、火车运输，不能用飞机运输。气瓶充装系数不大于0.01。

2.储存注意事项[16]  储存于阴凉、通风的有毒气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易（可）燃物、还原剂、食用beplay体育首页 分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。

合成方法

在熔融氟铵酸存在下，采用氨直接氟化工艺，其反应式为：

反应产物经过除雾器、淋洗器、分子筛吸附器，以及真空蒸馏，可分别除去各种杂质，最后用低温法收集得到NF3。

用途

1.NF3是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氮化硅的蚀刻，采用NF3和CF4＋O2的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染。氢与NF3反应，在瞬间伴随放出大量的热，这就是NF3在高能化学激光器方面大量应用的原理。在高温下，NF3与有机化合物反应常伴有爆炸性，操作时应十分谨慎。

2.用作高能燃料。[17]

安全信息

危险运输编码：暂无

危险品标志：氧化剂

安全标识：S17 S23 S38

危险标识：R8 R20

文献

[1~17]参考书：危险beplay体育首页 安全技术全书.第一卷/张海峰主编.—2版.北京；化学工业出版社，2007.6 ISBN 978-7-122-00165-8

备注

暂无

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