乙硅烷 Disilane
物竞编号 15CD
分子式 Si2H6
分子量 62.22
标签 Disilicoethane, Disilicon hexahydride, Silicoethane, disilicane, 电子用特种气体

编号系统

CAS号：1590-87-0

MDL号：MFCD00054678

EINECS号：216-466-5

RTECS号：暂无

BRN号：暂无

PubChem号：24869889

物性数据

1.       性状：无色透明液体

2.       密度（g/mL,15℃）：0.686

3.       相对蒸汽密度（g/mL,空气=1）：未确定

4.       熔点（ºC）：-132.5

5.       沸点（ºC,常压）：-14.5

6.       折射率：未确定

7.       闪点（ºC）：未确定

8.       自燃点或引燃温度（ºC）：未确定

9.       比旋光度（º）： 未确定

10.    蒸气压（kPa,25ºC）：未确定

11.    饱和蒸气压（kPa,60ºC）：未确定

12.    燃烧热（KJ/mol）：未确定

13.    临界温度（ºC）：未确定

14.    临界压力（KPa）：未确定

15.    油水（辛醇/水）分配系数的对数值：未确定

16.    爆炸上限（%,V/V）：未确定

17.    爆炸下限（%,V/V）：未确定

18.    溶解性：可与氢、氩、氮和氦以任意比例混合。

毒理学数据

微毒。

生态学数据

通常对水是不危害的，若无政府许可，勿将材料排入周围环境

分子结构数据

暂无

计算化学数据

1.疏水参数计算参考值（XlogP）:无

2.氢键供体数量:0

3.氢键受体数量:0

4.可旋转化学键数量:0

5.互变异构体数量:无

6.拓扑分子极性表面积0

7.重原子数量:2

8.表面电荷:0

9.复杂度:0

10.同位素原子数量:0

11.确定原子立构中心数量:0

12.不确定原子立构中心数量:0

13.确定化学键立构中心数量:0

14.不确定化学键立构中心数量:0

15.共价键单元数量:1

性质与稳定性

在常温常压下为无色透明气体，具有刺激性气味。d4－250.686，熔点－132．5℃，沸点－14．5℃，它具有与硅烷类似的化学性质，比硅烷不稳定，反应性比硅烷更强。在光照或室温缓慢分解成硅烷和氢，在光照下也可分解。在空气中自燃，浓度在0.2％以上时燃烧会发出火焰，浓度低于0.2％时，则发生氧化反应生成白色的二氧化硅。与卤素气体发生爆炸性地反应，但如果是在低温，则适度地进行卤化。与六氟化硫接触则爆炸。与四氯化碳和氯仿激烈反应。乙硅烷比硅烷更不稳定，应更加小心。

 

 

贮存方法

参照140206电子级硅烷。

合成方法

1.采用硅烷原料气，经流量计进入放电管，在适当温度、频率和电压下，得到含乙硅烷、甲烷和氢的混合气，将混合气在不同的冷却条件下进行吸收，除掉杂质，可得高纯乙硅烷。

2.甲硅烷经辉光放电后聚合生成高级硅烷，用液氮冷却回收，采用低温精馏法除去氢和甲硅烷即可。

3.采用硅烷原料气，经质量流量计进入放电管，在适当温度、频率和电压下，生成含一定量乙硅烷、甲烷和氢的混合气，混合气在不同的冷却条件下进行吸收，杂质被排出，可得高纯乙硅烷。

用途

1.用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。在太阳能电池生产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多，且温度可降低200～300℃。 在离子注入中，以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强，效果明显好于用其他气体作离子源。

2.在半导体工艺中用于外延和扩散工艺，也用于太阳能电池和电子照相用的感光鼓。

3.本品可用于太阳能电池生产、分子束外延和离子注入等技术。在太阳能电池生产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多，且温度可降低200～300℃。在离子注入中，以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强，效果明显好于用其他气体作离子源。

安全信息

危险运输编码：UN 3161 2.1

危险品标志：易燃 有害

安全标识：S16 S24 S26 S36/S37/S39

危险标识：R17 R42 R20/21 R36/37/38

文献

暂无

备注

暂无

表征图谱

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