物竞编号 1747
分子式 C
分子量 12.01
标签 半导体材料

编号系统

CAS号:7782-40-3

MDL号:MFCD00211867

EINECS号:231-953-2

RTECS号:HL4158550

BRN号:暂无

PubChem号:暂无

物性数据

1.       性状:粉末

2.       密度(g/mL at 25°C):3.5

3.       相对蒸汽密度(g/mL,空气=1):未确定

4.       熔点(ºC):未确定

5.       沸点(ºC,常压):未确定

6.       沸点(ºC,0.1mmHg):未确定

7.       折射率(n20/D):未确定

8.       闪点(ºC):未确定

9.       比旋光度(º):未确定

10.    自燃点或引燃温度(ºC):未确定

11.    蒸气压(mmHg,20ºC):未确定

12.    饱和蒸气压(kPa,-164ºC):未确定

13.    燃烧热(KJ/mol):未确定

14.    临界温度(ºC):未确定

15.    临界压力(MPa):未确定

16.    油水(辛醇/水)分配系数的对数值:未确定

17.    爆炸上限(%,V/V):未确定

18.    爆炸下限(%,V/V):未确定

19.    溶解性:未确定

毒理学数据

暂无

生态学数据

暂无

分子结构数据

暂无

计算化学数据

1、   疏水参数计算参考值(XlogP):-1.1

2、   氢键供体数量:0

3、   氢键受体数量:2

4、   可旋转化学键数量:0

5、   互变异构体数量:

6、   拓扑分子极性表面积(TPSA):34.1

7、   重原子数量:2

8、   表面电荷:0

9、   复杂度:0

10、   同位素原子数量:0

11、   确定原子立构中心数量:0

12、   不确定原子立构中心数量:0

13、   确定化学键立构中心数量:0

14、   不确定化学键立构中心数量:0

15、   共价键单元数量:1

性质与稳定性

金刚石晶体膜是一种人工合成的新型功能材料,它由金刚石微晶体构成,具有高硬度、低摩擦、高热导率(为铜的5倍)、低膨胀系数、良好抗热冲击性能、良好抗腐蚀性、极高电绝缘强度、宽波段高透过率和高电子折射率等多项复合性能。

本品无毒。

贮存方法

 产品应贮存放在阴凉、通风、干燥、清洁、无化学药品腐蚀气氛的库房内。

合成方法

制备金刚石薄膜常用的方法是气相沉积法,该方法可分以下3种类型。

(1)热化学气相沉积(TCVD)法 在高温下使含碳气相组分发生热分解即形成金刚石薄膜。这一方法在早期的制备过程中是比较成功的方法,目前采用很多的热丝法(EFCVD)以及对于沉积速率有着独特优越性的热化学焰法均属于此类。
(2)物理化学气相沉积法 用物理化学方法促进CVD过程,例如等离子增强CVD(PECVD或PACVD)、微波等离子体CVD(MWCVD)、射频等离子体CVD(RFPECVD)和直流等离子体CVD(DCPECVD)及电子增强CVD(EACVD)等。
(3)物理气相沉积法 即用物理方法(蒸发、溅射、离子束等)直接从碳源获取碳原子或碳离子,将含碳气体转变为气态活性碳原子,定向沉积在物体表面并沉积生成一层致密、均匀、光滑的碳碳原子键结构的固态晶体膜。这类工艺的关键技术是利用高能离子在基材表面的微区内形成75000℃和压强12×109Pa的热尖峰,其持续时间为10-21s,从而促进金刚石膜的形成。沉积工艺需在高能态、高真空条件下,严格控制电磁场能量,精确掌握含碳化合物的原材料配比和浓度,以及反应沉积速率。

用途

用于金属、塑料、玻璃等材料表面生成金刚石膜。如半导体及半导体器件热沉电阻、电绝缘层。

安全信息

危险运输编码:暂无

危险品标志:暂无

安全标识:暂无

危险标识:暂无

文献

暂无

备注

暂无

表征图谱